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Epitaxial(外延生长)是一个在材料科学和半导体工业中常用的术语,指的是在一种晶体基底上生长出另一种具有相同晶格结构的晶体层。
简单来说,就是“在已有的晶体基础上继续长出新的晶体”,就像种树一样,先有根,再长枝叶。
这个词常用于描述半导体制造中的外延工艺,例如硅基底上生长出氮化镓层。
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